SEM görüntüleme için numunelerin üzerine ince ve homojen iletken metal film (Pt, Au, Au/Pd, Pt/Pd) kaplayan kompakt, masaüstü sputter kaplama cihazıdır. Düşük basınçlı DC magnetron kafa ile soğuk kaplama yapar; numuneye ısıl zarar ve kontaminasyon en aza iner. Mikroişlemcili kontrol ünitesi Başlat/Duraklat tuşlarıyla çalışır; vakumlama, kaplama ve kapanışta havalandırma otomatik yapılır. Rutin SEM numune hazırlığı için ekonomik bir çözümdür.

Öne Çıkan Özellikler

Düşük basınçlı DC magnetron ile soğuk kaplama
Pt, Au, Au/Pd, Pt/Pd hedeflerle uyumlu
Film kalınlığı homojenliği: sapma ≤%5
Otomatik vakumlama, kaplama ve havalandırma
Sessiz çalışma (<56 dB)
Çok amaçlı numune tablası, 12 numune tutucuya kadar

Teknik Özellikler

Hedef malzeme	Pt (standart); Au isteğe bağlı; Ø57 × 0,1 mm
Numune tablası	12 adede kadar SEM numune tutucu; etkin kaplama çapı ≤60 mm
Kontrol	Mikroişlemcili, Başlat/Duraklat; süre 1–999 s
Güç kaynağı	Dahili DC, 3–40 mA
Sputter vakumu	3–15 Pa
Vakum sistemi	Pompa 66 veya 133 L/dk; nihai vakum 10⁻⁴ mbar
Film homojenliği	Sapma ≤%5
Gürültü seviyesi	<56 dB

Opsiyonel Donanım

Döner-eğimli numune tablası (opsiyon): 0–60 rpm kademesiz dönme, -45° ile +45° arası kademesiz eğim, Ø40 mm döner tabla (4 standart numune tutucu), çift kilitleme mekanizması. Düzensiz şekilli numunelerin her yüzeyinin eşit kaplanmasını sağlar; ürün sayfasındaki varyant listesinden seçilebilir.