SEM ve TEM numunelerinin üzerine ince, iletken bir metal (Pt, Au veya Au/Pd) film kaplamak için kullanılan tam otomatik sputter kaplama cihazıdır. İletken olmayan numuneler elektron mikroskobunda yüklenerek görüntüyü bozar; birkaç nanometrelik iletken kaplama bu sorunu giderir. Düşük voltajlı DC magnetron kafa “soğuk kaplama” yaparak hassas numunelere ısıl zarar vermez. Vakumlama, argon ile süpürme, kaplama ve havalandırma tek tuşla otomatik yapılır; 7 inç dokunmatik ekranda akım ve vakum eğrileri anlık izlenir.

Öne Çıkan Özellikler

Tek tuşla tam otomatik çalışma: vakumlama, argon süpürme, kaplama, havalandırma
Düşük voltajlı düzlemsel DC magnetron, “soğuk kaplama”
Sabit akımlı hassas güç kaynağı, yüksek film kalınlığı tekrarlanabilirliği
Dijital Pirani vakum ölçer, kapalı döngü vakum kontrolü
7 inç IPS dokunmatik ekran, akım ve vakum eğrisi gösterimi
Geçmiş parametre kaydı ve hedef kullanım takibi
Hızlı hedef değişimi

Teknik Özellikler

Hedef malzeme	Pt (standart); Au, Au/Pd isteğe bağlı; Ø57 × 0,1 mm
Numune tablası	Ø63 mm, 12 adet Ø12,7 mm SEM numune tutucu; yükseklik 25–65 mm
Vakum haznesi	Borosilikat cam, Ø120 × 120 mm
Çalışma vakumu	3–15 Pa (1 Pa adımlı)
Sputter akımı	3–40 mA (1 mA adımlı)
Kaplama süresi	1–999 s
Vakum ölçümü	Dijital Pirani
Vakum sistemi	Döner paletli pompa, 4 veya 8 m³/sa; nihai vakum 5×10⁻² Pa
Kontrol	7 inç IPS dokunmatik ekran (1024 × 600)
Güç	220 V AC, 50/60 Hz, 600 W
Boyutlar	450 × 310 × 340 mm

Opsiyonel Donanım

Döner-eğimli numune tablası (opsiyon): 0–60 rpm kademesiz dönme, -45° ile +45° arası kademesiz eğim, Ø40 mm döner tabla (4 standart numune tutucu), çift kilitleme mekanizması. Düzensiz şekilli numunelerin her yüzeyinin eşit kaplanmasını sağlar; ürün sayfasındaki varyant listesinden seçilebilir.